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        產品中心
        擴散爐多點熱電偶S型R型
        擴散爐多點熱電偶S型R型
        詳細說明:

        擴散爐熱電偶:

            半導體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為:多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等,各種產品形態不一,大小與結構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說,為各大光伏產業帶來了許多幫助。該產品為了生產加工PECVD的隔離導電性,外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成,采用多個點位***測量,也有用戶采用多點測量法計算出爐內的平均值從而獲得應有的數據。

        溫度測量在0~1800℃中使用,測量點分為單點和多點,點可達8個點的測量,精度符合國際標準,工業等級I級,1500度誤差2℃不到,精度相當高,完全代替進口產品。擴散爐熱電偶用于光伏產業、半導體的開發與研制、科研領域、軍工單位、進口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等,可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。

         

        技術參數:
        1、符合IEC584 GB/T18404-2001標準

        2、精度等級:CLASS-A:0.25% ;CLASS-B:0.5%

        3、Spike TC是用來測量與控制爐管外的各點溫度

        4、profile TC與Paddle TC是用來測量與控制爐管內各點溫度

        5、與spike和profile配套使用,可自動切換方式進行控溫

        6、壽命長、精度高、穩定性好、交貨期短、可完全代替進口

        7、擴散爐熱電偶總長含頭1750mm。(5點長:1700、1530、1200、870、700)

         

        擴散爐熱電偶產品選型:

            擴散爐爐外熱電偶(可帶螺紋、法蘭、裸露式):

        NAME

        Spike TC  (group :1、2)

        TYPE

        SKFN-Spike TC

        SKFN-Spike TC

        SKFN-Spike TC

        SKFN-Spike TC

        GRADUATION

        B-type

        S-type

        R-type

        K-type

        QUALITY

        剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管

        SPEC

        Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm

        RANGE

        0~1800℃

        0~1600℃

        0~1600℃

        0~1300℃

        SENSITIVITY

        5s≤

        5s≤

        8s≤

        10s≤

        THERMAL ERROR

        1.0℃

        1.2℃

        1.5℃

        2.0℃

        USE

        真空爐、氧化爐、擴散爐

        FIRM NAME

        鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、專用熱電偶

         

            擴散爐爐內熱電偶(爐內、爐外):

        NAME

        profile TC  (point :1、3、5、8)

        TYPE

        SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8

        GRADUATION

        B-type

        S-type

        R-type

        K-type

        QUALITY

        剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管、鎢管

        SPEC

        Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

        RANGE

        0~1800℃

        0~1600℃

        0~1600℃

        0~1300℃

        SENSITIVITY

        5s≤

        5s≤

        8s≤

        10s≤

        THERMAL ERROR

        1.0℃

        1.2℃

        1.5℃

        2.0℃

        USE

        燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐

        FIRM NAME

        石英熱電偶、多點熱電偶、擴散爐熱電偶、貴金屬鉑銠熱電偶

         

            擴散爐爐內外熱電偶(鎧裝式、爐內、爐外、可彎曲):

        NAME

        Paddle Tc  

        TYPE

        SKFN-Paddle Tc

        GRADUATION

        B-type

        S-type

        R-type

        K-type

        QUALITY

        GH3039、GH3030

        SPEC

        Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

        RANGE

        0~1300℃

        SENSITIVITY

        5s≤

        5s≤

        5s≤

        6s≤

        THERMAL ERROR

        1.0℃

        1.2℃

        1.5℃

        2.0℃

        USE

        真空爐、氧化爐、擴散爐

        FIRM NAME

        鎧裝鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、微細鎧裝鉑銠熱電偶

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